Monitoreo de presión de gases de alta pureza

El gas de alta pureza, desde el almacenamiento, transporte, distribución hasta el tratamiento de gases residuales, no puede prescindir del monitoreo de presión. El transmisor de presión desarrollado y producido de forma totalmente independiente por Mike Sensor es un instrumento potente para obtener información precisa sobre la presión del gas de alta pureza. Para los usuarios que necesitan garantizar que el sistema de suministro de gas sea seguro, estable, sin contaminación y cumpla con los requisitos del proceso, es la elección ideal.

Desafíos de la aplicación:
1. Alta tasa de fugas de gas de alto nivel;
2. Requisitos elevados de estabilidad y fiabilidad a largo plazo;
3. Múltiples medios gaseosos corrosivos;
4. Altos requisitos de limpieza;
5. Espacio de instalación limitado en algunos equipos;

Ventajas de la solución:
1. Alta hermeticidad del producto, tasa de fuga de helio: ≤5×10-12 Pa·m³/s;
2. Alta limpieza, lugar de producción: sala limpia de clase 100;
3. Tratamiento superficial: pulido electrolítico, conforme a SEMI F19; rugosidad superficial: valor típico ≤0.13 μm, valor máximo ≤0.18 μm;
4. Buena resistencia a la corrosión, material en contacto con el fluido acero inoxidable 316L VAR+VIM conforme a SEMI F20;
5. Buena estabilidad a largo plazo, estabilidad a largo plazo ±0.25% FS/año, alto nivel de protección EMC, punto cero ajustable;
6. Características estructurales, compacto y pequeño, adecuado para espacios reducidos.

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